¿ìÁÖȯ°æ ¸ð»ç¿ë Áø°ø¼³ºñ(Vacuum Chamber)
+ Áø°ø ¼³ºñÀÇ Çʿ伺
¿ìÁÖ È¯°æÀº °íÁø°ø ȯ°æ°ú °í¿Â ¹× ±ØÀú¿ÂÀÌ ¹Ýº¹µÇ´Â °¡È¤ÇÑ È¯°æÀ¸·Î ÀÌ·¯ÇÑ ¿ìÁÖ°ø°£¿¡¼ ÀÛµ¿ÇÏ´Â Àΰø À§¼ºÀ̳ª ¿ìÁÖ¼±Àº ÁÖ¿ä ºÎÇ°ÀÇ ÀÛµ¿ ºÒ´É Çö»óÀÌ ¹ß»ýÇÒ ¼ö ÀÖ°í ÀÌ´Â °ð ÀÓ¹«ÀÇ ½ÇÆзΠÀ̾îÁú ¼ö ÀÖ´Â À§Ç輺ÀÌ Á¸ÀçÇÑ´Ù. µû¶ó¼ ÀÌ·¯ÇÑ ÀüÀÚ Àåºñ ¹× °¢Á¾ ÁÖ¿ä ºÎÇ°ÀÇ ÀÛµ¿ »óŸ¦ Áø°ø »óŸ¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ½ÃÇèÇÏ´Â °úÁ¤ÀÌ ¹Ýµå½Ã ÇÊ¿äÇÏ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Áø°ø »óÅ¿¡¼ÀÇ Å×½ºÆ®¸¦ À§Çؼ´Â °í°íµµ ¿ìÁÖ È¯°æÀ» ¸ð»çÇØ ÁÙ ¼ö ÀÖ´Â
¿ìÁÖȯ°æ¸ð»ç ¼³ºñ¸¦ ÇÊ¿ä·Î ÇÑ´Ù.
+ ±¹³» Áø°ø¼³ºñ º¸À¯ ÇöȲ
±¹³»¿¡¼´Â Çѱ¹Ç×°ø¿ìÁÖ¿¬±¸¿ø, (ÁÖ)ÇÑÈ, Çѱ¹Ç×°ø¿ìÁÖ»ê¾÷, ÀΰøÀ§¼º¿¬±¸¼Ò(SaTRec) µî ÁÖ·Î ¿ìÁÖºÐ¾ß¿Í °ü·ÃµÈ ¿¬±¸¼Ò ¹× ¾÷ü¿¡¼ Áø°ø ¼³ºñ¸¦ ±¸ÃàÇÏ°í ÀÖ´Ù. ±¹³» ´ëÇеé Áß¿¡¼´Â ÀϺΠ¼Ò±Ô¸ðÀÇ Áø°ø ¼³ºñ¸¦ °®Ãß°í ÀÖ´Â °÷µµ ÀÖÀ¸³ª ½ÇÁúÀûÀÎ ºÎÇ°À̳ª ÀüÀÚÀåºñÀÇ ½ÃÇèÀÌ °¡´ÉÇÑ ¿ë·®ÀÇ ¼³ºñ´Â À¯ÀÏÇÏ°Ô Ãæ³²´ëÇб³¿¡¼ °®Ãß°í ÀÖ´Ù.
+ Ãæ³²´ëÇб³ Áø°ø ¼³ºñ º¸À¯ ÇöȲ
Ãæ³²´ëÇб³¿¡¼´Â °í°íµµ ¸ð»ç¿ë ´ëÇü Áø°ø è¹ö¿Í Àú°íµµ ¸ð»ç¿ë ¼ÒÇü Áø°ø è¹ö µÎ °¡Áö¸¦ º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ´Ù. °¢ è¹ö´Â D-sub 25 Pin°ú °¡°ø °¡´ÉÇÑ Çǵ彺·ç Ç÷¹ÀÌÆ®¸¦ Æ÷ÇÔÇÏ¿© ´Ù¾çÇÑ ÀÔÃâ·Â Æ÷Æ®¸¦ Áö¿øÇÑ´Ù.
1. °í°íµµ ¸ð»ç¿ë ´ëÇü Áø°ø è¹ö

´ëÇü è¹öÀÇ ¼³ºñ ÇöȲÀº À§¿Í °°´Ù. Áø°ø ¿ë±â´Â ¿Ü°æ 1200 mm, ±æÀÌ 1800 mmÀÇ ½Ç¸°´õ Çü»óÀ» °®Ãß°í ÀÖÀ¸¸ç ±×¿Ü ¼³ºñ·Î´Â ÀúÁø°ø ÆßÇÁÀÎ ·ÎÅ͸® ÆßÇÁ¿Í °íÁø°ø ÆßÇÁÀÎ Åͺ¸ºÐÀÚ ÆßÇÁ¸¦ °®Ãß°í ÀÖ´Ù. ±âÁ¸¿¡ »ç¿ëÇÏ´ø È®»ê ÆßÇÁ¸¦ Á¦°ÅÇÏ°í Åͺ¸ ÆßÇÁ¸¦ »ç¿ëÇÏ¿´À¸¸ç, ¼öµ¿ Á¶ÀÛ°ú Åë½Å ÄÉÀ̺íÀ» ÀÌ¿ëÇØ ÄÄÇ»ÅͿ͵µ Åë½Å Á¦¾î°¡ °¡´ÉÇÑ PLC¸¦ Á¦ÀÛÇÏ¿© ¿î¿ëÁßÀÎ »óÅÂÀÌ´Ù. ÆßÇÁÀÇ Á¦¿øÀº ¾Æ·¡¿Í °°´Ù.
Àåºñ¸í
|
±Ô °Ý
|
ÀúÁø°øÆßÇÁ
(Rotary Pump)
|
- ¸ðµ¨¸í : E2M275
- Á¦ÀÛ»ç : Edwards
- ¹è±â¼Óµµ : 4876 liter/min
- µµ´Þ¾Ð·Â : < 3.8x10-3 torr
|
°íÁø°øÆßÇÁ
(Turbo Pump)
|
- ¸ðµ¨¸í : TURBOVAC 1000
- Á¦ÀÛ»ç : leybold
- ȸÀü¼Óµµ : 36,000 rpm
- ¹è±â¼Óµµ : 850 liter/sec
- ÃÖ´ë µµ´Þ ¾Ð·Â : < 1x10-10 mbar
|

ÇöÀç´Â Åͺ¸ ÆßÇÁ°¡ ÀåÂøµÇ¾î ÀÖ´Â »óÅ·Π1.0x10-2 torr±îÁö µµ´ÞÇϴµ¥ ¾à 20ºÐ Á¤µµ°¡ ¼Ò¿äµÇ¸ç ÀÌÈÄ Åͺ¸ ÆßÇÁ¸¦ ÀÛµ¿½ÃÅ°¸é 30ÃÊ À̳»¿¡ 1.0x10-4 torr¿¡ µµ´ÞÇÏ´Â °ÍÀ» È®ÀÎÇÏ¿´´Ù. ÇöÀç ¿¹»óµÇ´Â ÀÛµ¿ Áø°øµµ´Â ¾à 1.0x10-5 torr·Î ¿¹»óµÇ¸ç(°íÁø°ø °ÔÀÌÁöÀÇ ¿À·ù·Î °íÁø°ø ÃøÁ¤ ºÒ°¡) ÀÌÈÄ Áö¼ÓÀûÀÎ ¼³ºñ¸¦ È®ÃæÇØ ³ª°¨À¸·Î½á 10-6 torr ±ÞÀÇ Áø°øµµ¸¦ ¸¸µå´Â °ÍÀÌ ¸ñÇ¥ÀÌ´Ù.
2. Àú°íµµ ¸ð»ç¿ë ¼ÒÇü Áø°ø è¹ö

Ãæ³²´ëÇб³¿¡¼´Â Ç×°ø/¿ìÁÖ¿ë ¸®Æ¬ ÀÌ¿Â ¹èÅ͸®ÀÇ ¿ìÁÖ È¯°æ ½ÃÇèÀ» ÁøÇàÇϱâ À§ÇØ ¼ÒÇü Áø°ø è¹ö´Â Ãß°¡ ±¸ÃàÇÏ¿´´Ù. ±¸Ãà µÈ Àú°íµµ ¸ð»ç¿ë ¼ÒÇü è¹ö´Â ¿Ü°æ 550 mm, ±æÀÌ 600mmÀÇ ½Ç¸°´õ Çü»óÀ» °®Ãß°í ÀÖÀ¸¸ç ·ÎÅ͸® ÆßÇÁ¸¦ È°¿ëÇÏ¿© °íµµ 75 km ÀÎ 1.0x10-2torr±îÁö °¨¾ÐÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. 1.0x10-2 torr µµ´Þ ¼Óµµ´Â 1½Ã°£ À̳»¿¡ µµ´Þ °¡´ÉÇÏ´Ù. ÆßÇÁÀÇ Á¦¿øÀº ¾Æ·¡¿Í °°´Ù.
Àåºñ¸í
|
±Ô °Ý
|
ÀúÁø°øÆßÇÁ
(Rotary Pump)
|
-
¸ðµ¨¸í : MVP-12
-
Á¦ÀÛ»ç : WOOSUNG
-
¹è±â¼Óµµ : 200 liter/min
-
µµ´Þ¾Ð·Â : < 5x10-3 torr
|
ÇöÀç Çǵ彺·ç °¡°øÀ» ÅëÇÏ¿© ¹èÅ͸® Ãæ¹æÀü±â ¹× ¿Âµµ ÃøÁ¤ ¼¾¼°¡ ¼ÒÇü è¹ö¿¡ ¿¬°áµÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç À̸¦ ÅëÇØ ¹èÅ͸®ÀÇ Àü¾Ð, ¿ë·®, ¿¡³ÊÁö ¹× ¿Âµµ µîÀ» ½Ç½Ã°£À¸·Î È®ÀÎÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ ¸®Æ¬À̿¹èÅ͸® ¿Ü ¿¬·á ÀüÁö µî ´Ù¾çÇ× Ç×°ø/¿ìÁÖ¿ë ¹èÅ͸® ¹× ÀüÀåÇ°ÀÇ Àú°íµµ ¸ð»ç ȯ°æ ½ÃÇè¿¡ È°¿ë °¡´ÉÇÏ´Ù.
+ ÇâÈÄ Áø°ø ¼³ºñ È°¿ë ¹æ¾È
¾Õ¼ ¾ð±ÞÇÏ¿´´ø ¹Ù¿Í °°ÀÌ Áø°ø ¼³ºñ´Â ¿ìÁÖ °³¹ß ºÐ¾ß¿¡ ÀÖ¾î ¹Ýµå½Ã ÇÊ¿äÇÑ Áø°ø »óÅ¿¡ÀÇ ÀÛµ¿ Å×½ºÆ® ±â´ÉÀ» ¼öÇàÇϱâ À§ÇÑ ÇʼöÀû ¼³ºñÀÌ´Ù. ±×·¯³ª ÀÌ¿Í °°Àº Áø°ø ¼³ºñ´Â À¯Áö º¸¼ö°¡ ±î´Ù·Ó°í ÀåºñÀÇ ¿î¿ë¿¡ ÀÖ¾î¼ Àü¹®ÀûÀÎ Á¶ÀÛÀ» ¿äÇϱ⠶§¹®¿¡, Áø°ø ¼³ºñ¸¦ ¿î¿ëÇÏ´Â °÷Àº ±×¸® ¸¹Áö ¾ÊÀº ½ÇÁ¤ÀÌ´Ù. ±×·¯ÇÑ Àǹ̿¡¼ Ãæ³²´ëÇб³ ³» Áø°ø ¼³ºñ´Â ÇâÈÄ Áø°ø »óÅ¿¡¼ ¹ú¾îÁú ¼ö ÀÖ´Â ´Ù¾çÇÑ Çö»óµé¿¡ ´ëÇÑ ±âÃʽÇÇèÀ» Çϴµ¥
ÀÖ¾î È°¿ëµµ°¡ ¸Å¿ì ³ôÀ» °ÍÀ¸·Î ÆľǵǸç, ƯÈ÷ ÇâÈÄ ¿ Áø°øè¹ö·ÎÀÇ °ø»ç°¡ ¸¶¹«¸® µÈ´Ù¸é ÇÑÃþ ´õ È°¿ëµµ°¡ ³ôÀ» °ÍÀ¸·Î »ý°¢µÈ´Ù.
+ Áø°ø ¼³ºñ °ü·Ã ¹®ÀÇ
HPCL ¿¬±¸½Ç Áø°øè¹ö ´ã´çÀÚ : 042) 821-7771
|